ICSPI, Inc. ist eine Firma mit Sitz in Kitchener, Kanada und steht für Integrated Circuit Scanning Probe Instruments. Die Idee von ICSPI war es, die MEMS-Technologie zu nutzen, um ein AFM zu entwickeln, das vollständig auf einem einzigen MEMS-Chip integriert ist. Nach fast 10 Jahren Forschung und Entwicklung an der University of Waterloo, Kanada, und mit finanzieller Unterstützung von DARPA und dem Ontario Research Fund hat ICSPI das weltweit erste Ein-Chip-Atomkraftmikroskop (AFM) auf den Markt gebracht.
Inzwischen gibt es verschiedene Produkte, die alle auf dem nGauge Atomic Force Microscope basieren.
