PHI 710 Scanning Auger Nanoprobe

Das PHI 710 Scanning Auger Nanoprobe ist ein einzigartiges Hochleistungsgerät für die Auger-Elektronenspektroskopie (AES), welches Informationen über den elementaren und chemischen Zustand von Probenoberflächen und nanoskaligen Merkmalen, dünnen Schichten und Grenzflächen liefert. Das PHI 710 ist als Hochleistungs-Auger konzipiert und bietet die überlegene Auger-Abbildungsleistung, räumliche Auflösung, Empfindlichkeit und spektrale Energieauflösung, die Sie für Ihre anspruchsvollsten AES-Anwendungen benötigen.

Die Auger-Elektronenspektroskopie (AES) liefert quantitative Informationen über den elementaren und chemischen Zustand von Oberflächen fester Materialien. Die durchschnittliche Analysetiefe einer AES-Messung beträgt etwa 5 nm. Physikalische Elektronik-Auger-Instrumente bieten die Möglichkeit, Spektren mit einer lateralen räumlichen Auflösung von nur 8 nm zu erhalten. Die Informationen über die räumliche Verteilung werden durch Scannen des mikrofokussierten Elektronenstrahls über die Probenoberfläche gewonnen. Informationen über die Tiefenverteilung erhält man durch die Kombination von AES-Messungen mit Ionenfräsen (Sputtern) zur Charakterisierung einer Dünnschichtstruktur. Die Informationen, die AES über Oberflächenschichten oder Dünnfilmstrukturen liefert, sind für viele Industrie- und Forschungsanwendungen wichtig, bei denen die Oberflächen- oder Dünnfilmzusammensetzung eine entscheidende Rolle für die Leistung spielt, z. B. Nanomaterialien, Photovoltaik, Katalyse, Korrosion, Haftung, Halbleiterbauelemente und -verpackungen, magnetische Medien, Displaytechnologie und Dünnfilmbeschichtungen für zahlreiche Anwendungen.

Auger-Daten werden von allen Seiten der Partikel und zwischen den Partikeln mit ebenso hoher Empfindlichkeit gewonnen und liefern Auger-Karten mit aussagekräftigen Informationen über die Zusammensetzung.